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本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是公开了探针卡盘固定板开关防掉落结构，包括机箱、开设在所述机箱上的检修口、可活动地设置在所述机箱上的探针卡盘固定板，所述探针卡盘固定板转动以封闭所述检修口，还包括安全机构，所述安全机构包括连接于所述机箱的锁...
该专利属于立川（无锡）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过立川（无锡）半导体设备有限公司授权不得商用。

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