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本发明涉及低温消杀设备的设计与制造以及生物屏障技术设计领域。目前低温消杀技术已经进入以准分子光源为特征的第三代低温消杀技术水平，但是不管单独使用哪种准分子光源应用于低温消杀领域，都存在一些微小的不足。将由氙准分子光源发射的172nm的VUV...
该专利属于郑州圣华药物食品技术开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州圣华药物食品技术开发有限公司授权不得商用。

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