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磁控溅射用的料盘转运车制造技术
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下载磁控溅射用的料盘转运车的技术资料
文档序号:36252377
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一种磁控溅射用的料盘转运车,其包括:车体、数个移动轮、把手、辊道机构、导向机构、定位机构及锁固机构;其中,该数个移动轮均匀的装设于车体的下侧面;把手装设于车体的一侧;辊道机构装设于车体的上侧面,用以滑动输入或输出及承载磁控溅射用的料盘;导向...
该专利属于包头品高永磁材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头品高永磁材料有限公司授权不得商用。
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