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本发明涉及异形工件镀膜领域，具体涉及一种半球形工件高均匀性镀膜装置及方法。本发明创新性的采用在镀膜过程中驱动镀膜机靶枪的方式，使靶枪在镀膜过程中调整倾斜角度，进而提高半球形工件表面镀膜均匀性；另外通过一种半球形镀膜均匀性测试工装，完成多个不...该专利属于华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）授权不得商用。