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一种基于物理气相沉积技术的渐变镀膜设备制造技术
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下载一种基于物理气相沉积技术的渐变镀膜设备的技术资料
文档序号:36230213
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本发明公开了一种基于物理气相沉积技术的渐变镀膜设备,涉及气相沉积镀膜技术领域,包括预处理组件、镀膜组件、渐变调控组件、输送单元、机台,预处理组件、镀膜组件和机台上表面紧固连接,输送单元依次穿过预处理组件、镀膜组件,渐变调控组件设置在镀膜组件...
该专利属于泰州光丽光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰州光丽光电科技有限公司授权不得商用。
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