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本发明公开了一种半导体材料/器件的锁相载流子辐射测试系统与方法。所述的测试系统部分包括计算机、函数发生器、锁相放大器、激光器、探测器和三维移动样品台等，计算机一方面控制函数发生器使激光器对半导体样品施加光激励或使函数发生器对半导体样品施加电...
该专利属于昆山协鑫光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山协鑫光电材料有限公司授权不得商用。

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