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本发明提供一种用于准分子激光器放电腔的冷却水流量控制系统，包括设置在放电腔内的散热器和温度传感器、设置在放电腔外的PID模块和用于提供冷却水的冷水机以及用于连接散热器和冷水机的管路模块，管路模块包括使冷却水由冷水机流向散热器的第一管路、使冷...
该专利属于广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院授权不得商用。

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