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本发明公开了一种狭长形的压电MEMS微镜，属于微机电系统技术领域，包括：狭长形的镜面层；支撑柱，与镜面层连接；驱动层，包括支撑平台和对称分布在其两侧的四个压电驱动臂；支撑平台通过支撑柱与镜面层连接；压电驱动臂包括弹簧、压电驱动器和形变传感器...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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