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本发明涉及一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法,所述装置由集成MEMS芯片、测试腔体、液晶操作屏、功能控制模块、ARM板卡、锂电池、气泵、充电插口、SD卡插槽、电源开关和外壳于一体机:MEMS芯片集成了多通道采集和自加热,为敏感...该专利属于中国科学院新疆理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院新疆理化技术研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法,所述装置由集成MEMS芯片、测试腔体、液晶操作屏、功能控制模块、ARM板卡、锂电池、气泵、充电插口、SD卡插槽、电源开关和外壳于一体机:MEMS芯片集成了多通道采集和自加热,为敏感...