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本发明公开了一种半球谐振子面形误差和厚度误差的测量装置，包括底座、半球谐振子、底座包括互相垂直的水平底座和竖直底座，水平底座和竖直底座上分别安装有第一气浮转台和第二气浮转台，第一气浮转台设有五轴调整平台，半球谐振子安装在五轴调整平台上，第二...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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