下载声波谐振器的技术资料

文档序号:36199636

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公开了一种声波谐振器,包括:基板,其包括第一腔体;第一电极,其形成在基板上方;压电层,其形成在第一电极的一个表面上;以及第二电极,其形成在压电层的一个表面上。其中,压电层包括纵向面,其不覆盖第一电极的纵向面。此外,第二电极覆盖压电层的纵向面...
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