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本发明提供一种传感器装置，其能够在确保在晶体振荡器上的附着物的测量精度的同时缩短频率的扫描周期。本发明的一个方式涉及的传感器装置具有：具有压电元件的传感器部，以及测量单元。测量单元使用通过对压电元件的谐振频率附近进行电扫描而获取的、对压电元...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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