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一种用于一光学投影系统中的Ｍ×Ｎ薄膜致动反射镜阵列，其中Ｍ及Ｎ为整数，该阵列包括： 一有源矩阵，包括一衬底、一Ｍ×Ｎ晶体管阵列及一Ｍ×Ｎ连接端阵列； 一Ｍ×Ｎ薄膜致动机构阵列，各致动机构具有一顶表面及一底表面、一近端及一远端，各...
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