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本发明涉及一种多频压电微机械超声换能器及制备方法，涉及换能器领域，换能器包括：依次设置的顶电极层、压电层、底电极层、绝缘层、结构层和基体；所述基体上设置两个亥姆霍兹谐振腔；两个亥姆霍兹谐振腔通过颈部通道连通；所述结构层覆盖所述颈部通道和两个...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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