下载一种光学元件控时磨削面形测量系统及面形测量方法的技术资料

文档序号:36192440

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本发明公开了一种光学元件控时磨削面形测量系统,包括床身,床身上设有沿X轴做直线运动的工件安装座和沿Y轴和Z轴运动的控时磨削加工平台,控时磨削加工平台上设有控时磨削加工装置、用于测量控时磨削加工平台在Z轴方向位移变化量δL2(x,y)的第一测...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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