下载增强型氮化镓晶体管、制作方法、设备的制备方法及设备的技术资料

文档序号:36192402

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本发明提供了一种增强型氮化镓晶体管,该晶体管包括:衬底,以及沿远离所述衬底方向形成于所述衬底上的成核层、缓冲层、沟道层、势垒层以及p
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