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本发明涉及一种运用分子模拟确定半导体零部件最佳清洗参数的方法，通过分子动力学模拟的方法模拟出在不同条件下污染物从氟塑料零部件迁移到溶液中的扩散过程，并对模拟结果进行计算分析，得到扩散系数等相关参数。运用数据所揭示的污染物的迁移扩散现象和机理...
该专利属于浙江启尔机电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江启尔机电技术有限公司授权不得商用。

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