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本发明涉及到晶圆清晰度定位的方法。由配置有显微镜的相机在晶圆的垂直方向上进行数次移动，相机每次移动时记录下相机当时的驻停位置以及保存相机当时通过显微镜拍摄到的图像。计算各个驻停位置相对参考位置的位置变量，计算图像各自的清晰度相对参考清晰度的...
该专利属于魅杰光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过魅杰光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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