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本发明公开了一种加工二维材料纳米结构阵列的装置及方法，其中，包括加工室、充气结构、支架、第一位移工作台、第二位移工作台、模板和电场组件，充气结构与加工室连通，用于输入气体反应介质；支架设于加工室内，支架上形成有相互垂直的水平支撑台面和竖直支...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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