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本发明涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，底座，还包括限位机构、移位机构、翻转调节机构和调节支撑机构，所述限位机构固定安装在底座顶部，所述限位机构包括操作台，本发明通过设置有移位机构、提升机构和调节支撑机构，当晶圆片夹持...
该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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