下载背照式CMOS图像传感器的形成方法的技术资料

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一种背照式CMOS图像传感器的形成方法,包括:提供第一衬底,所述第一衬底包括相对的第一面和第二面;自所述第二面刻蚀所述第一衬底,在所述第一衬底内形成沟槽;在形成所述沟槽之后,在所述第一面上形成器件层;在所述沟槽内形成隔离层,所述沟槽的形成工...
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