下载一种复合多层光源及检测装置的技术资料

文档序号:36169367

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种复合多层光源及检测装置,其可以对两个工件同时进行检测,具体地,第一光源单元通过分光镜单元将光线反射至第一出光口并照射于第一工件上,第二光源单元通过分光镜单元将光线反射至第二出光口并照射于第二工件上;随后,第一工件将光线反...
该专利属于广东奥普特科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东奥普特科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。