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本发明涉及蓝宝石衬底技术领域,提供了一种防裂纹蓝宝石衬底的制备方法及防裂纹蓝宝石衬底,其中,制备方法包括以下步骤:在蓝宝石衬底上设置压印胶层;在压印胶层表面形成周期排布的凹坑结构;利用边缘处理液对压印胶层进行边缘处理,使压印胶层的边缘减薄并...该专利属于元旭半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过元旭半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及蓝宝石衬底技术领域,提供了一种防裂纹蓝宝石衬底的制备方法及防裂纹蓝宝石衬底,其中,制备方法包括以下步骤:在蓝宝石衬底上设置压印胶层;在压印胶层表面形成周期排布的凹坑结构;利用边缘处理液对压印胶层进行边缘处理,使压印胶层的边缘减薄并...