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一种基于光电芯片双面工艺的三维封装结构及封装方法技术
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文档序号:36165710
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本发明涉及光电芯片封装技术领域,特别是一种基于光电芯片双面工艺的三维封装结构及封装方法,该三维封装结构中,光电芯片之间在通过导电结构实现电连接的同时,还能够通过微型透镜实现光学端口的纵向互联,这种封装结构不限制光电芯片的片数,形成的三维封装...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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