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本实用新型涉及一种磁控管磁场分布测量装置,包括框型结构的磁钢部件(1)和间隙固定工装(4);所述磁钢部件(1)的内侧上部和下部分别设置有上极靴固定工装(5)和下极靴固定工装(6);所述上极靴固定工装(5)和下极靴固定工装(6)分别与上极靴(...该专利属于北京华清加高能电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京华清加高能电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种磁控管磁场分布测量装置,包括框型结构的磁钢部件(1)和间隙固定工装(4);所述磁钢部件(1)的内侧上部和下部分别设置有上极靴固定工装(5)和下极靴固定工装(6);所述上极靴固定工装(5)和下极靴固定工装(6)分别与上极靴(...