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本实用新型公开了一种硅片烘干装置，包括壳体；壳体的内侧底部设置有花篮支撑架以用于承托花篮，壳体的内侧部设置有连通外部风机的风管组件；壳体的内侧底部还设置有匀流板，匀流板位于花篮的花篮底杆下侧，且匀流板上开设有多组与上侧花篮底杆一一对应的匀流...
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