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本发明公开了一种基于低能离子束溅射的半球谐振子修形方法，采用离子束对半球谐振子进行修形，在半球谐振子赤道区域加工时，将离子源沿半球谐振子的径向方向入射进行离子束迭代加工，可控性更强，同时在加工过程中调控参数以减少热变形对修形精度的影响以实现...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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