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本发明涉及抛光工艺技术领域，具体涉及针对具有中高频误差自由曲面镜的小磨头快速加工工艺，本发明所述沥青盘带有硅胶垫，可以避免沥青盘绕球头偏转不及时，导致沥青盘无法和工件表面贴合很好的问题，抛光工艺中，加工盘行进速度与自转速度较慢，且压力较小，...
该专利属于齐鲁中科光物理与工程技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过齐鲁中科光物理与工程技术研究院授权不得商用。

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