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利用包括矩形像素的LCOS阵列的WSS制造技术
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下载利用包括矩形像素的LCOS阵列的WSS的技术资料
文档序号:36107060
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一种硅基液晶(LCOS)装置,包括:硅衬底;以及一对电极,所述一对电极包括上电极和下电极。所述下电极安装到所述硅衬底并且包括在第一维度和第二维度上延伸的像素的二维阵列。LCOS装置还包括:液晶层,所述液晶层设置在所述上电极与所述下电极之间,...
该专利属于II-VI特拉华有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过II-VI特拉华有限公司授权不得商用。
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