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本发明属于水听器技术领域，公开了一种具有耐压结构的压电MEMS水听器，以解决目前压电MEMS水听器耐压性差的问题。水听器包括透声壳、基底、SOI层以及感测层；在透声壳与由基底、SOI层以及感测层组成的整体之间形成液体充填区域；感测层包括多个...
该专利属于青岛国数信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛国数信息科技有限公司授权不得商用。

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