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本发明公开了一种用于高温设备的光学位移测量系统及测量翘曲的方法,通过光发射模块发射波长在紫色或紫外波长范围内的探测光,经光反射模块反射后投射至旋转状态的测定对象的被测面上进行扫描,被被测面反射后的探测光经聚光成像模块聚光后射向位置探测模块,...该专利属于楚赟精工科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过楚赟精工科技(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于高温设备的光学位移测量系统及测量翘曲的方法,通过光发射模块发射波长在紫色或紫外波长范围内的探测光,经光反射模块反射后投射至旋转状态的测定对象的被测面上进行扫描,被被测面反射后的探测光经聚光成像模块聚光后射向位置探测模块,...