下载电荷耦合元件板的微调治具的技术资料

文档序号:3609402

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一种电荷耦合元件板的微调治具,适于微调一电荷耦合元件板在一扫描模块的位置,其利用一横向微调装置、一纵向微调装置以及一轴向微调装置分别对电荷耦合元件板的X轴、Y轴、Z轴方向的位移进行微调,并利用一旋转构件对以Z轴为中心的旋转量进行微调。...
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