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本发明公开了一种膜层厚度表征方法，包括：提供一具有多个膜层叠层的测试样品；获取各所述膜层的电子能量损失谱，依据所述电子能量损失谱中各所述膜层的强度信号，得到能量损失区间；在透射电子显微镜的能量过滤模式下，选取所述能量损失区间中的能量损失值作...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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