下载反射照明光学系统的技术资料

文档序号:3608658

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本发明公开的是一种反射照明光学系统。该反射照明光学系统可通过与成像器的短侧以倾斜角设置丝栅型PBS(偏振束分离器)使该系统的后焦距和深度最小化,并提高照明效率。...
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