下载用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉的技术资料

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本公开涉及用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉,该用于单晶炉的坩埚支承组件包括:坩埚托盘,其用于支承坩埚;以及坩埚轴,其包括与动力源连接的第一端部和与坩埚托盘连接的第二端部,以用于通过由动力源驱动旋转而带动坩埚旋转,其中,坩埚支承组件设置有用于...
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