下载可兼容芯片的三维集成系统及其制作方法的技术资料

文档序号:36083140

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本发明提供一种可兼容芯片的三维集成系统及其制作方法,至少对一个功能芯片进行扩展,形成囊括功能芯片及外围焊盘的扩展芯片,且功能芯片的焊盘通过再布线方式被电引出到外围焊盘,基于两个扩展芯片对应外围焊盘的对准键合,或者基于一个功能芯片与一个扩展芯...
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