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本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层交替叠加而成,涂层调制周期为55~175nm,周期数≥1...该专利属于恩盛德(天津)精密工具股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩盛德(天津)精密工具股份有限公司授权不得商用。
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