下载激光场镜清洁装置及含有其的激光清洗装置、系统与方法的技术资料

文档序号:36074675

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本发明提供一种激光场镜清洁装置,包括固定板,以及设置于固定板上的放料卷组件、放料驱动组件、导向件、场镜清洁组件与收料卷组件;其中,所述放料驱动组件可带动放料卷组件输出的未使用的清洁布移动至与激光场镜相对应的工作位置,所述场镜清洁组件驱动清洁...
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