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包含具固有铁电性Hf-Zr的膜制造技术
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下载包含具固有铁电性Hf-Zr的膜的技术资料
文档序号:36071143
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所公开并要求保护的主题涉及结晶铁电材料,其包含氧化铪及氧化锆的混合物,具有大量(即约40%或更多)或大部分的该材料在沉积时(即不需要进一步加工诸如后续覆盖或退火)呈铁电相及用于制备及沉积这些材料的方法。铁电相及用于制备及沉积这些材料的方法。...
该专利属于默克专利股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过默克专利股份有限公司授权不得商用。
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