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本实用新型公开一种磁控管排气台,包括夹具工装、抽真空系统和电极保温罩,所述夹具工装上开设有若干用于放置磁控管的工装孔,所述工装孔的下端均与所述抽真空系统相连通;所述电极保温罩包括第一罩体和第二罩体,所述第一罩体与第二罩体相互配合连接后形成若...该专利属于中山市美格电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山市美格电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种磁控管排气台,包括夹具工装、抽真空系统和电极保温罩,所述夹具工装上开设有若干用于放置磁控管的工装孔,所述工装孔的下端均与所述抽真空系统相连通;所述电极保温罩包括第一罩体和第二罩体,所述第一罩体与第二罩体相互配合连接后形成若...