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本实用新型便捷稳定式涂层设备，包括机架、设置于机架上的多灯丝离子源、以及设备电源，多灯丝离子源连通设备电源的阴极，且机架对应多灯丝离子源设置有阳极部，阳极部连通设备电源阳极；多灯丝离子源包括发生源主体、以及与发生源主体配合使用的下壳体；发生...
该专利属于超微中程纳米科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过超微中程纳米科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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