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本发明公开一种基于红外显微数字全息的半导体缺陷检测装置及方法，红外半导体激光器发出的光束经偏振片调制后分成两束；第一束激光成为平行光，被反射后作为参考光束；第二束激光成为平行光，照射并透过待测半导体，经透镜放大系统调制后的光束成为物光束；物...
该专利属于昆明理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过昆明理工大学授权不得商用。

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