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本发明公开了一种具有超高介电常数和/或铁电剩余极化强度的介质薄膜和器件的制备方法及器件。该方法包含：步骤a，在衬底上或附有第二电极的衬底上形成介质薄膜；该介质薄膜包含Hf1‑
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该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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