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本发明公开了一种流体泵装置,属于流体控制技术领域。主要包括压电振子,以及设置在压电振子一侧的谐振板,压电振子包括矩形的振动基板以及设于振动基板上的矩形的压电元件,压电振子与谐振板之间间隔有谐振腔,谐振板上开设有至少一个连通谐振腔的通孔,并且...该专利属于北京南方启达电气设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京南方启达电气设备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种流体泵装置,属于流体控制技术领域。主要包括压电振子,以及设置在压电振子一侧的谐振板,压电振子包括矩形的振动基板以及设于振动基板上的矩形的压电元件,压电振子与谐振板之间间隔有谐振腔,谐振板上开设有至少一个连通谐振腔的通孔,并且...