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电子束聚焦光阑及扫描电子显微镜制造技术
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文档序号:36003139
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本实用新型公开了一种电子束聚焦光阑及具有该光阑的扫描电子显微镜,该光阑包括绝缘基体,绝缘基体上设置有中心通孔、环状电极区域和导线槽,导线槽开设在绝缘基体的上表面,从中心通孔向外延伸,环状电极区域包括若干从中心通孔向外排列的环状电极和位于相邻...
该专利属于惠然科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠然科技有限公司授权不得商用。
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