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本发明涉及激光光学器件损伤检测技术领域，具体地涉及一种光学元件表面缺陷类型及形状的检测方法及检测系统，包括：建立仿真模型样本库，所述仿真模型样本库包括各种形状的缺陷模型、缺陷附近电磁场分布以及缺陷光强分布；搭建超光滑表面缺陷检测系统，对超光...
该专利属于齐鲁中科光物理与工程技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过齐鲁中科光物理与工程技术研究院授权不得商用。

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