下载一种高效等离子净化装置及电极组合工艺的技术资料

文档序号:35949827

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本发明提供一种高效等离子净化装置,至少包括一个栅阵单元和一个电路模块,每个栅阵单元包括三个一字排列的离子管,相邻两个所述离子管之间设有平行间距,所述离子管包括从外到内的外电极、电介质和内电极,同一所述离子管的所述内电极和所述外电极极性相反,...
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