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本发明公开了一种基于相变材料的高灵敏度热式微流量传感器，包括单晶衬底、流体层和两组设置有传感单元的固支梁。单晶衬底选用单晶硅材料，致密的隔热介质膜沉积在单晶硅衬底上，两组固支梁分别悬空架设在微流道的上游和下游；由加热电阻与热敏电阻组成的传感...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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