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一种改善碳化硅衬底局部轮廓质量的方法，涉及碳化硅加工技术领域，用于解决现有技术中需重复整个圆周倒角而导致的倒角过量，以及效率低、合格率低的技术问题。所述改善碳化硅衬底局部轮廓质量的方法，包括以下步骤：采用光学显微镜对倒角边缘进行尺寸和位置检...
该专利属于河北同光半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北同光半导体股份有限公司授权不得商用。

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