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本发明包括衬底与衬底上方安装的压阻式传感单元、电容式传感单元和金属PAD，压阻式传感单元、电容式传感单元均通过金属PAD实现与外界互连，该制造方法为在衬底上方键合压阻敏感膜，并在压阻敏感膜上方形成下极板与敏感电阻，在下极板的上方设置上极板，...
该专利属于山东沃迪科微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东沃迪科微电子有限公司授权不得商用。

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